以下是精密設備維護保養的系統化方案，綜合行業標準與實踐經驗整理而成：

一、日常維護核心要點

清潔管理?

每日使用無塵布清潔設備表面及關鍵部件（如光學鏡頭、傳感器），防止粉塵堆積影響精度

對滑動導軌、絲杠等運動部件進行酒精擦拭，清除油污殘留

潤滑維護?

采用指定型號潤滑油，每200工作小時補充導軌油，避免干摩擦（如數控機床主軸軸承需使用高速潤滑脂）

定期更換過濾器，保持潤滑系統油路暢通，油質污染度需符合ISO 4406標準

環境控制?

維持溫度20±1℃、濕度40-60%RH的恒溫恒濕環境，溫度波動會導致精密測量設備產生0.01mm/m的熱變形

安裝防震地基或氣浮平臺，隔離頻率＞5Hz的外部振動

二、周期性深度保養

月度維護?

校準激光干涉儀等計量設備，補償機械磨損導致的定位誤差

檢查氣動系統密封性，氣壓需穩定在0.5±0.02MPa范圍內

年度大修?

更換老化部件（如伺服電機編碼器電池、液壓密封圈）

使用激光校準儀調整各軸垂直度，確保重復定位精度≤±1μm

三、特殊場景處理

長期停用設備?

每周通電運行30分鐘防止電路受潮，主軸需手動旋轉避免軸承形變

涂抹防銹油后真空包裝金屬裸露部件

故障應急?

出現異常振動時立即停機，優先檢查地腳螺栓松動或傳動帶磨損

精密光學元件污染需使用專業清潔套裝，禁止直接用手觸碰

通過三級保養制（日檢/月檢/年檢）可延長設備壽命30%以上，典型案例如半導體光刻機通過上述方案實現10萬小時無大修。